3月8日，上海信阳半导体材料有限公司发布公告，披露了购买ASML-1400光刻机的最新进展。
据介绍，上海信阳自立项目开发193nmArF干法光刻胶研发与产业化项目此后，它安排购买了诸如ASML-1400光刻机之类的核心设备，并于2020年12月14日披露，该光刻机将在2020年底之前运往中国。
但是，由于上海信阳和光刻机供应商北方集成电路技术创新中心（毕竟）有限公司在沟通和协调设备运输和安装细节方面遇到了曲折，因此无法运输光刻机设备。在指定的时间内。 向上。
随后，双方就具体的合作细节签署了《合作框架协议》，预计该光刻机将在2021年3月底进入北部集成电路场址。
经过各方的积极咨询和运营，该光刻机今天已进入北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司所在地，并将在未来进行安装和调试。
上海信阳表示，购买的ASML干法光刻设备的顺利交付将对加速193nm ArF干法光刻胶产品的开发产生积极影响，这将有助于进一步增强公司光刻胶产品的核心竞争力并加速公司的实施。提高公司的抗风险能力和可持续发展能力。
但是，该光刻机仍必须经过相关链接，例如安装和调试。 如果存在工作遗漏或错误，则存在光刻机将长时间使用甚至无法使用的风险。
另外，光刻胶的研发项目具有较高的技术壁垒和较长的周期。 投资工业化并最终实现销售利润将花费一定的时间，而且价格昂贵。 预计其折旧和后续维护成本将对公司的经营业绩产生一定的影响。
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